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ロードロック式スパッタ装置 平行平板 Sputtering

ロードロック式スパッタ装置 平行平板
Sputtering
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メーカー
アネルバ ANELVA
型式
EVP-36737
年式
2001
保管場所
都留
カテゴリー
真空
機械仕様
カソード 4インチx5元(1個Φ101.6?x5t) 基板サイズ最大;Φ300?x1枚 排気:クライオ仕様 電源 スパッタ用DC電源2.5kw 逆スパッタ用RF電源600W 加熱400℃
添付ファイル
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価格

12,100,000円(税別)