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スパッタ装置 カルーセル 縦型(回転式)

スパッタ装置 カルーセル 縦型(回転式)
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メーカー
Anelva アネルバ
型式
C-7540HCL
年式
2000
保管場所
都留
カテゴリー
真空
機械仕様
基板サイズ:角10.5?x1t? 電源:RF7.5kw ターゲットサイズ:630X200? 4枚カルーセル式16面 排気:ターボポンプ+クライオトラップ
添付ファイル
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価格

売却済