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ウエハ搬送装置

ウエハ搬送装置
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メーカー
?タカトリ
型式
TRA-P
年式
2004
保管場所
塩山
カテゴリー
半導体
機械仕様
輸送包装容器内の保護シートをシートストック部へ又ウエハは、キャリア治具に移載する装置。及び逆作業も出来る。 可能ウエハサイズ:5インチor6インチ ウエハ厚み:90~700μm ウエハ重量
添付ファイル
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価格

3,000,000円(税別)