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メーカー
メイワフォーシス
型式
Neoc-ST
年式
-
保管場所
塩山
カテゴリー
半導体
機械仕様
生成厚数nm~数100nm チャンバ寸法 φ150×70mm 装填数Φ10?×35個,Φ15?×10個,Φ30?×5個 W340 D280 H400 ?本体 ?ポンプ
添付ファイル

価格

990,000円(税別)