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枚葉式イオンミリング装置一式

枚葉式イオンミリング装置一式
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メーカー
日立
型式
IML-5-1-M
年式
1999
保管場所
カテゴリー
半導体
機械仕様
AC200V 最大加速電圧1.0KV 最大イオン電流密度1.0mA/? マイクロ波最大電流300W マイクロ波最大周波数2.45GHz 本体(1/4) W1650 D1740 H2200 チラー(2/
添付ファイル
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価格

4,500,000円(税別)