都留テクニカルセンター

%e5%9b%b32

敷地面積9900㎡ クリーンクラス100のクリーンルームを含む、4つのクリーンルーム(準C/R)を中心に、検査測定エリア、重量エリア、真空部品エリア、真空機器メンテナンスエリア等を完備しています。

都留テクニカルセンター全体図
第1

第1

 
第2

第2

 
第3

第3

 
クラス100クリーンルーム

クラス100クリーンルーム

 
重量エリア

重量エリア

 
パーツ・備品類

パーツ・備品類